中國電子行業超純水國家標準
中國電子行業超純水國家標準
(GB/T11446.1-1997 )
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指 標 名 稱
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一 級 水（EW-1）
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二 級 水（EW-2）
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電阻率MΩ.CM. （25℃）
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18(95‰時間)不低于17
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15(95‰時間)不低于13
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硅 ≤μg/L
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2
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10
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＞1μm 微粒數
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0.1
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5
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細菌個數 ≤個/ml
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0.01
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0.1
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銅 ≤μg/L
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0.2
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1
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鋅 ≤μg/L
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0.2
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1
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鎳 ≤μg/L
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0.1
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1
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鈉 ≤μg/L
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0.5
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2
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鉀 ≤μg/L
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0.5
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2
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氯 ≤μg/L
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1
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1
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硝酸根 ≤μg/L
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1
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1
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磷酸根 ≤μg/L
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1
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1
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硫酸根 ≤μg/L
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1
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1
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總有機碳 ≤μg/L
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20
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100
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