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    中國電子行業超純水國家標準

    中國電子行業超純水國家標準
    (GB/T11446.1-1997 )

    指 標 名 稱

    一 級 EW-1

    二 級 EW-2

    電阻率MΩ.CM. 25℃)

    18(95‰時間)不低于17

    15(95‰時間)不低于13

    硅   ≤μg/L

    2

    10

    1μm 微粒數

    0.1

    5

    細菌個數 ≤個/ml

    0.01

    0.1

    銅   ≤μg/L

    0.2

    1

    鋅   ≤μg/L

    0.2

    1

    鎳   ≤μg/L

    0.1

    1

    鈉   ≤μg/L

    0.5

    2

    鉀   ≤μg/L

    0.5

    2

    氯   ≤μg/L

    1

    1

    硝酸根  ≤μg/L

    1

    1

    磷酸根  ≤μg/L

    1

    1

    硫酸根  ≤μg/L

    1

    1

    總有機碳 ≤μg/L

    20

    100

     

     

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